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N-羟基-3,6-内氧桥-4-环己烯二甲酰亚胺对甲苯磺酸酯的合成及性能研究

         

摘要

以马来酸酐、呋喃、盐酸羟胺和对甲苯磺酰氯为起始原料,合成了一种新的非离子型产酸剂N-羟基-3,6-内氧桥-4-环己烯二甲酰亚胺对甲苯磺酸酯,优化了中间产物的合成条件,通过红外表征测定了中间产物和最终产物的化学结构;测定了产物在常用有机溶剂中的溶解性,并通过紫外表征测定了其紫外吸收性。实验结果表明,该产物在常用有机溶剂中具有良好的溶解性,并在248 nm波长处有好的透明性,可用于248 nm光刻工艺体系。

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