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来源
《上海大学学报（英文版）》
|
2010年第5期
|
359-364
|
共6页
作者
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作者单位
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原文格式
PDF
正文语种
eng
中图分类
关键词
机译：定位控制系统;定位精度;AFM;原子力显微镜;纳米操纵;压电陶瓷管;现代科学技术;前馈补偿控制;
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