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高杨; 赵小林; 陈文元; 张琛;
中国工程物理研究院电子工程研究所;
上海交通大学微纳米科学技术研究院;
上海200030;
电磁微电机; 气隙磁通; 定子; 控制电路; MEMS; 微细制造;
机译:微电机系统技术天气监测系统温度传感器的设计与制造
机译:利用LIGA工艺和表面牺牲层技术制造电磁步进微电机的新工艺
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机译:用于空间并联微操纵器的电热微电机和顺应机构的设计与制造。
机译:使用微电机成像导管和VCSEL技术的超高速内窥镜光学相干断层扫描
机译:具有电磁轮与电磁微电机直接集成的全向爬壁微型机器人
机译:降低烟雾固体推进剂燃烧产物分析。微电机燃烧技术的发展。
机译:具有电磁微电机的微机电装置,特别是通过探针存储技术制成的大容量存储装置
机译:具有电磁微电机的微机电设备,特别是通过探针存储技术制造的大规模存储设备
机译:具有电磁微电机的微电子设备,特别是大容量存储技术“探针存储”
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