激光化学气相沉积法制备YBa2Cu3O7-δ超导薄膜

吴慰; 张琼; 苏轼; 赵培

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采用激光化学气相沉积法在(100)取向Al2O3衬底上制备了第二代高温超导YBa2Cu3O7-δ(YBCO)薄膜,研究了前驱体Y(DPM)3、Ba(DPM)2、Cu(DPM)2的蒸发温度对YBCO薄膜成分的影响规律.通过X射线衍射、扫描电子显微镜、背散射电子显微镜对薄膜进行了表征.结果表明:制备的YBCO薄膜样品成分中含有以下化合物:YBCO、CuYO2、Cu2O、Cu4O3、Y2O3、CuO、CuBaO2、BaY2O4、Ba2Cu3Ox.在激光功率为130 W,沉积温度为1123 K,腔体压强为1 kPa,前驱体蒸发温度分别为TY=453 K、TBa=603 K和TCu=453 K的条件下制得成分较单一的c-轴取向YBCO薄膜.同时结果表明载流气Ar气的流速对薄膜成分存在一定影响.

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来源
《武汉工程大学学报》 |2018年第5期|514-523|共10页
作者
吴慰; 张琼; 苏轼; 赵培;
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作者单位

武汉工程大学材料科学与工程学院;

湖北武汉 430205;

武汉工程大学材料科学与工程学院;

湖北武汉 430205;

武汉工程大学材料科学与工程学院;

湖北武汉 430205;

武汉工程大学材料科学与工程学院;

湖北武汉 430205;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类超导体、超导体材料;
关键词
激光化学气相沉积法; YBa2Cu3O7-δ; 超导薄膜; 显微结构;

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