AlSb薄膜的潮解机制研究

常璐; 王朋伟; 刘竞艳; 苗壮; 田弋纬

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AlSb薄膜的潮解机制研究

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锑化铝(AlSb)薄膜具有优良的光电特性,但因其极易潮解从而极大地限制了AlSb薄膜的应用.采用共溅射的方法制备AlSb薄膜,利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)及俄歇电子能谱(AES)等表征了其镜头结构、形貌及成份等性质特征,并分析了其在空气中的潮解机制.实验表明AlSb薄膜在空气中潮解后在其表面存在有Al(OH)_(3),这说明AlSb与空气中水发生反应,并生成了Al(OH)_(3)和SbH_(3).通过研究AlSb薄膜潮解机制可以选择合适的方式对其潮解过程进行延缓甚至抑制.

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来源
《西安文理学院学报（自然科学版）》 |2022年第2期|100-103|共4页
作者
常璐; 王朋伟; 刘竞艳; 苗壮; 田弋纬;
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作者单位

西安汉唐分析检测有限公司;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类结构化学;表面现象的物理化学;
关键词
ALSB; 潮解; AES; XRD; SEM;

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