快速抛光技术接触压力建模与仿真

陈真; 杨炜; 郭隐彪

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快速抛光技术接触压力建模与仿真

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快速抛光技术不但可提高加工速度,还能保证抛光精度,是实现超精密平面光学元件批量化加工的最有效加工方式.通过对快速抛光原理的分析,建立了工件与抛光垫之间的弹性力学模型,分析了载荷条件和边界位移条件,并以此为基础建立了工件与抛光垫的有限元模型.通过仿真分析得出了接触压力的分布情况,并通过抛光实验验证了仿真结果,为研究快速抛光技术提供了实验理论依据.

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来源
《厦门大学学报：自然科学版》 |2012年第2期|215-218|共4页
作者
陈真; 杨炜; 郭隐彪;
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作者单位

厦门大学物理与机电工程学院;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类计算机辅助机械制造;
关键词
快速抛光; 接触压力; 弹性力学模型;

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