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溅射法制备ZnS:Er3+薄膜的微结构研究

         

摘要

利用射溅射控溅射法制备掺铒硫化锌薄膜,用X射线衍射和X射线光电子能谱技术。研究薄膜微结构,发现薄膜中多晶沉积有择优取向趋势,掺杂的铒有表面集聚现象,这将对薄膜的发态产生影响。

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