Si/Si低温键合界面的XPS研究

著录项

• 来源
  《厦门理工学院学报》 |2010年第3期|20-23|共4页
• 作者

  张小英; 阮育娇; 陈松岩; 王元樟; 甘亮勤; 杜旭日;

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• 作者单位

  厦门理工学院数理系,福建,厦门,361024;

  厦门大学物理系半导体光子学研究中心,福建,厦门,361005;

  厦门大学物理系半导体光子学研究中心,福建,厦门,361005;

  厦门理工学院数理系,福建,厦门,361024;

  厦门理工学院数理系,福建,厦门,361024;

  厦门理工学院数理系,福建,厦门,361024;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 半导体器件制造工艺及设备;
• 关键词

  硅片键合; XPS; 金属过渡层; 键合机理;