低压大位移静电微驱动器驱动机理分析

田文超; 陈志强; 贾建援

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低压大位移静电微驱动器驱动机理分析

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针对微电子机械系统领域中横向加载单向变形静电微驱动器存在位移过小或驱动电压过大的问题,提出一种纵横弯曲硅基大位移低电压静电微驱动器.分析了静电调节力、温度应力和挤压力对微梁变形的影响.基于纵横弯曲理论,推导出位移放大系数δ.仿真结果发现,纵横弯曲微驱动器的驱动机理实质是通过位移放大系数δ,放大单向加载横向驱动器变形量,从而实现大位移、低电压驱动目的;5V驱动电压可实现高达17.5μm的位移,远大于目前传统横向加载单向变形微驱动器的变形量.

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来源
《西安电子科技大学学报》 |2014年第2期|85-89|共5页
作者
田文超; 陈志强; 贾建援;
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作者单位

西安电子科技大学机电工程学院;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类机械动力学;
关键词
微驱动器; 纵横弯曲; 放大系数; 微电子机械系统;

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