基片温度对CNx薄膜性能和结构的影响

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• 来源
  《燕山大学学报》 |2002年第1期|71-7494|共5页
• 作者

  柳翠; 李东春; 于栋利; 何巨龙; 田永君; 刘世民;

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• 作者单位

  燕山大学材料科学与工程学院,秦皇岛,066004;

  燕山大学材料科学与工程学院,秦皇岛,066004;

  燕山大学材料科学与工程学院,秦皇岛,066004;

  燕山大学材料科学与工程学院,秦皇岛,066004;

  燕山大学材料科学与工程学院,秦皇岛,066004;

  燕山大学材料科学与工程学院,秦皇岛,066004;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 工程材料学;
• 关键词

  CNx薄膜; 离子束溅射; 温度;