首页> 中文期刊> 《榆林学院学报》 >脉冲激光沉积法制备ZnO薄膜中衬底温度对ZnO薄膜结构的影响

脉冲激光沉积法制备ZnO薄膜中衬底温度对ZnO薄膜结构的影响

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

采用溶胶--凝胶法制备高纯的靶材,利用PLD法生长薄膜,成功地在Si衬底上生长了高质量的ZnO薄膜,系统的研究了衬底温度对薄膜生长的影响.采用XRD对薄膜结构进行分析.XRD测试表明,大部分薄膜都具有高度的C轴择优生长取向性,只有衬底温度过高薄膜结构才发生改变.

著录项

来源
《榆林学院学报》 |2010年第4期|30-32|共3页
作者
刘涛;
展开▼
作者单位

商洛学院,物理系,陕西,商洛,726000;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类材料;
关键词
溶胶--凝胶; 脉冲激光沉积(PLD); ZnO薄膜; X射线衍射(XRD);

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 衬底温度对磁控溅射制备外延ZnO薄膜结构特性的影响 [J] . 周阳 ,仇满德 ,赵庆勋 . 功能材料 . 2009,第005期
2. 衬底温度对PLD法制备ZnO薄膜结构及发光特性的影响 [J] . 赵杰 ,胡礼中 ,宫爱玲 . 功能材料 . 2008,第005期
3. 衬底温度对射频磁控溅射制备ZnO薄膜结构的影响 [J] . 付长凤 ,陈希明 ,韩连福 . 天津理工大学学报 . 2008,第004期
4. 衬底温度对磁控溅射法制备ZnO薄膜结构及光学特性的影响 [J] . 徐小丽 ,马书懿 ,陈彦 . 功能材料 . 2007,第005期
5. 不同衬底温度对ZnO薄膜结构和光学性质的影响 [J] . 贾相华 ,黄海亮 ,付斯年 . 哈尔滨理工大学学报 . 2014,第001期
6. 脉冲激光沉积法ZnO薄膜N2中的制备和退火特性研究 [C] . 魏显起 ,满宝元 . 第十届固体薄膜会议 . 2006
7. 衬底温度对低功率制备ZnO薄膜光学特性的影响 [A] . 蔡利霞 . 2009

获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

客服微信
服务号