首页> 中文期刊> 《运城学院学报》 >衬底温度对SiCN膜生长的影响

衬底温度对SiCN膜生长的影响

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

分别在不同的衬底温度下制备了SiCN薄膜,首先用红外吸收谱(IR)研究了薄膜中各元素间的成键情况,然后用x射线衍射谱(XRD)分别研究了高温样品和低温样品的结构,得到了它们的结晶状况.利用这些研究得到了衬底温度对薄膜生长的影响.

著录项

来源
《运城学院学报》 |2005年第5期|40-41|共2页
作者
马紫微;
展开▼
作者单位

运城学院,物理与电子工程系,山西,运城,044000;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类理论物理学;
关键词
SiCN膜; 衬底温度; 红外吸收谱; XRD;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 衬底温度对热丝法生长纳米金刚石膜的影响 [J] . 王传新 ,熊江 ,易成 . 武汉工程大学学报 . 2015,第002期
2. 衬底温度对常压MOCVD生长的ZnO单晶膜的性能影响 [J] . 熊传兵 ,方文卿 ,蒲勇 . 半导体学报：英文版 . 2004,第12期
3. 微波等离子体化学气相沉积制备SiCN结晶膜及SiCN微米棒阵列(英文) [J] . 程文娟 ,张阳 ,江锦春 . 人工晶体学报 . 2004,第4期
4. 衬底温度和生长速率对In0.2Ga0.8As分子束外延薄膜生长影响 [J] . 白晨皓 ,杨瑞霞 ,张强 . 唐山师范学院学报 . 2009,第005期
5. 衬底温度和生长速率对MBE自组织生长In_xGa_(1-x)As/GaAsQD的影响 [J] . 于磊 ,曾一平 ,潘量 . 半导体学报：英文版 . 2000,第7期
6. 衬底温度对Co38(MgF2)62颗粒膜磁电阻效应的影响 [C] . 池俊红 ,刘春明 ,李成贤 . 第三届全国磁性薄膜与纳米磁学学术会议 . 2001
7. 预制氧化膜对铝合金微弧氧化陶瓷膜生长过程的影响 [A] . 黄玲 . 2015

获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

客服微信
服务号