掺氢GaAs薄膜的表面形貌及光学性质研究

著录项

• 来源
  《云南大学学报：自然科学版》 |2005年第s3期|609-612|共4页
• 作者

  朱慧群; 丁瑞钦; 吴桐庆; 蔡继业; 胡怡; 杨恢东; 丁才蓉; 汪河洲;

  展开▼
• 作者单位

  五邑大学薄膜与纳米材料研究所;

  广东江门529020;

  华南理工大学物理科学与技术学院;

  广东广州510641;

  暨南大学化学系;

  广东广州510632;

  暨南大学电子工程系;

  广东广州510632;

  中山大学光电材料国家重点实验室;

  广东广州510275;

  展开▼
• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 TB383.2;
• 关键词

  射频磁控溅射; GaAs薄膜; 气氛掺氢; 吸收光谱; 氢钝化;