球面干涉检测中改进的调整误差校正方法

王道档; 杨甬英; 邵卫红; 陈晓钰

首页> 中文期刊> 《浙江大学学报：工学版》 >球面干涉检测中改进的调整误差校正方法

球面干涉检测中改进的调整误差校正方法

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

根据球面干涉检测中待测球面调整误差的高阶近似模型,提出新的基于泽尼克多项式拟合的球面调整误差校正方法.该方法根据测得原始面形数据的泽尼克多项式系数以及待测面数值孔径,得到调整误差所引入的低阶和高阶像差量,实现高精度球面调整误差校正.通过Zygo干涉仪及大数值孔径待测球面对提出的校正方法进行实验验证,校正精度达到了均方根值近0.001λ、峰谷值0.011λ.实验结果表明,该方法可以实现很高的球面调整误差校正,无需了解实际调整误差量,便于自动化处理,可以降低检测装置中对待测面调节机构精度的要求.

著录项

来源
《浙江大学学报：工学版》 |2012年第10期|1932-1936|共5页
作者
王道档; 杨甬英; 邵卫红; 陈晓钰;
展开▼
作者单位

中国计量学院计量测试工程学院;

浙江大学现代光学仪器国家重点实验室;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类算法理论;
关键词
光学检测; 泽尼克多项式拟合; 调整误差校正; 球面; 大数值孔径;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 利用干涉仪检测调整非球面物镜的光路 [J] . 刘秀梅 . 红外 . 2010,第005期
2. 二次非球面镜检测中基于波前等高线图的调整方法 [J] . 晁格平 ,杨朋利 ,杨子建 . 应用光学 . 2014,第004期
3. 用ZYGO数字干涉仪检测非球面的新方法 [J] . 王淑荣 ,韩昌元 . 光学机械 . 1992,第001期
4. 调整费林试剂提高可操作性减少检测误差——对乳粉中乳糖检测方法的改进 [J] . 李勇 ,易美容 . 监督与选择 . 2002,第12期
5. 大口径高次、离轴非球面干涉测量中投影畸变的标定方法 [J] . 李锐钢 ,郑立功 ,薛栋林 . 光学精密工程 . 2006,第004期
6. 用数字化方法分析计算全息检测非球面中的干涉场 [C] . 吴继宗 . 第二届全国光电技术与系统学术会议 . 1986
7. 非球面部分补偿干涉检测方法的误差分析及系统优化研究 [A] . 骆永洁 . 2011

球面干涉检测中改进的调整误差校正方法

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅