首页> 中文期刊> 《浙江水利水电学院学报》 >氧化锌的拉曼频移——应力定量关系研究

氧化锌的拉曼频移——应力定量关系研究

         

摘要

在MEMS器件制备过程中,对微区域的应力状态测量与监控至关重要.建立了氧化锌材料的拉曼应力测量技术理论,推导出了氧化锌材料的拉曼频移-应力分量解析关系式.Zn O单晶体属于6 mm点群结构具有两个A1、E1和E2共六中线性振动模式.从微扰势出发并结合胡克定律出发,推导出了A1、E1和E2模的拉曼位移变化与应力分量之间的关系,在这些方程式中,共包含20个未知参数.最后给出了氧化锌材料的拉曼频移-应力关系式,为Zn O残余应力测量提供理论依据.

著录项

  • 来源
    《浙江水利水电学院学报》 |2017年第2期|P.65-67|共3页
  • 作者单位

    [1]浙江水利水电学院机械与汽车工程学院,浙江杭州310018 [2]浙江水利水电学院工程实验实训中心,浙江杭州310018;

    [1]浙江水利水电学院机械与汽车工程学院,浙江杭州310018 [2]浙江水利水电学院工程实验实训中心,浙江杭州310018;

    [1]浙江水利水电学院机械与汽车工程学院,浙江杭州310018 [2]浙江水利水电学院工程实验实训中心,浙江杭州310018;

    [1]浙江水利水电学院机械与汽车工程学院,浙江杭州310018 [2]浙江水利水电学院工程实验实训中心,浙江杭州310018;

  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 CHI
  • 中图分类 TE112;
  • 关键词

    氧化锌 拉曼频移 应力;

相似文献

  • 中文文献
  • 外文文献
  • 专利
获取原文

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号