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碱土金属掺杂SnO_2薄膜气体传感器

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摘要

经过真空镀锡膜、氧化和化学浸渍，制作了碱土金属掺杂ＳｎＯ２薄膜气敏元件，并测试了元件的气敏特性．结果表明，元件对乙醇和丙酮气体灵敏度和选择性得到提高、而对苯、丁烷、液化石油气、氨气、氢气和煤气不敏感．

著录项

来源
《轻工学报》 |1994年第s1期|160-166|共7页
作者
傅敏恭; 王晓俊; 陈戬; 王海源;
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作者单位

南昌大学化学系;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类化学元素与无机化合物;
关键词
碱土金属; 氧化锡; 薄膜; 气体传感器;

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