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SOI基光耦合器研究进展

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摘要

文章综述了国内外光耦合器的最新研究进展,着重介绍了目前耦合效率最高(55%),且与偏振无关的双光栅辅助定向耦合器的工艺流程、结构性能以及进一步提高耦合效率的可行性.

著录项

来源
《激光与红外》 |2007年第1期|18-21|共4页
作者
刘艳; 余金中;
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作者单位

中国科学院半导体研究所集成光电子国家重点实验室,北京,100083;

中国科学院半导体研究所集成光电子国家重点实验室,北京,100083;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类波导定向耦合器;
关键词
耦合器; 双光栅辅助定向耦合器; 耦合效率;

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