碲锌镉缓冲层液相外延技术的研究

周立庆; 刘兴新; 巩锋; 胡尚正

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碲锌镉缓冲层液相外延技术的研究

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文章报道了采用液相外延方法，在碲锌镉衬底上进行碲锌镉薄膜缓冲层生长的情况，并且采用X光双晶衍射仪、X光形貌仪、红外傅里叶光谱仪、二次离子质谱仪等手段对碲锌镉薄膜进行了表征，碲锌镉薄膜具有较好地组分及均匀性，晶体结构质量也较好。采用碲锌镉缓冲结构生长了碲镉汞液相外延片，其碲锌镉与碲镉汞薄膜界面附近的杂质得到了有效的控制。

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来源
《激光与红外》 |2007年第B09期|P.907-909|共3页
作者
周立庆; 刘兴新; 巩锋; 胡尚正;
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作者单位

华北光电技术研究所,北京100015;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类 TN304.054;
关键词
碲锌镉薄膜; 液相外延; 薄膜特性;

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