氮化镓基雪崩光电二极管的研制

许金通; 陈俊; 陈杰; 王玲; 储开慧; 张燕; 李向阳; 龚海梅; 赵德刚

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文章简单回顾了氮化镓基雪崩光电二极管的发展现状，从制作高响应率、低漏电流的雪崩器件出发，详细阐明了制作氮化镓基雪崩光电二极管的工艺过程，特别考虑了干法刻蚀带来的物理损伤以及后续的消除损伤处理。由于雪崩器件对于材料的质量具有较苛刻的要求，因此特别对材料进行了必要的筛选。通过一系列工艺上的改进，成功地制作出国内第一只氮化镓基雪崩光电二极管，器件的光敏面直径是40μm；并对其进行了光电性能测试。测试结果表明，当反向偏压是58V时，漏电流大约是1．18×10-7A，雪崩增益是3。

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来源
《激光与红外》 |2007年第B09期|P.954-956,960|共4页
作者
许金通; 陈俊; 陈杰; 王玲; 储开慧; 张燕; 李向阳; 龚海梅; 赵德刚;
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作者单位

中国科学院上海技术物理所传感技术国家重点实验室,上海200083;

中国科学院半导体研究所,北京100083;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类紫外技术及仪器;
关键词
氮化镓; 雪崩光电二极管; 漏电流;

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