大尺寸碲锌镉基碲镉汞材料分子束外延技术研究

高达; 李震; 王丹; 徐强强; 刘铭

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针对高质量、大规模碲镉汞红外焦平面探测器需求的持续增加,本文开展了使用分子束外延方式在50 mm×50 mm(211)B碲锌镉衬底上外延碲镉汞材料技术的研究。通过对碲锌镉衬底改进湿化学腐蚀、碲锌镉衬底预处理、碲锌镉衬底缓冲层生长、碲锌镉基碲镉汞材料工艺开发等方面的研究,开发出了能够稳定获得碲锌镉基碲镉汞材料的工艺。材料质量、工艺重复性良好,获得的碲锌镉基碲镉汞材料双晶衍射半峰宽(35±5)arcsec,组分平均值为0.2160;碲镉汞薄膜材料厚度平均值为6.06μm。

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来源
《激光与红外》 |2022年第3期|388-391|共4页
作者
高达; 李震; 王丹; 徐强强; 刘铭;
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作者单位

华北光电技术研究所;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类红外光学材料;
关键词
碲锌镉; 碲镉汞; 分子束外延;

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