矩形光栅局部结构误差对衍射效率的影响

邓启威; 张蓉竹; 孙年春

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矩形光栅局部结构误差对衍射效率的影响

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摘要

为了提高高光谱遥感技术的分析精度,利用标量衍射理论,对矩形光栅局部结构误差的衍射效率进行了分析,并计算了光栅局部周期和缝宽误差对衍射效率的影响.结果表明,当加工误差使得光栅局部缝宽变大时,会造成光栅各主极大(除零级)衍射光强变小,这一误差对 ±1级处的衍射光强影响相对较小,随着误差的增加,越高的衍射级次其光强下降得越快;而当加工误差使得光栅局部缝宽变小时,会造成光栅各主极大(除零级)衍射光强变大,同样,当误差变大时,相对 ±1级的衍射光受到的影响而言,级次越高对应的主极大衍射光强增大得越快.该研究对于加工矩形光栅减小局部周期和缝宽误差控制提供了参考.

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来源
《激光技术》 |2019年第5期|635-640|共6页
作者
邓启威; 张蓉竹; 孙年春;
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作者单位

四川大学电子信息学院;

成都 610065;

四川大学电子信息学院;

成都 610065;

四川大学电子信息学院;

成都 610065;

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正文语种 chi
中图分类光纤元件;
关键词
光栅; 衍射效率; 标量衍射理论; 局部结构误差;

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