激光诱导背向湿式刻蚀过程中工作液体的研究

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• 来源
  《激光技术》 |2020年第1期|7-13|共7页
• 作者

  谢小柱; 周彩霞; 高勋银; 任庆磊; 胡伟;

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• 作者单位

  广东工业大学 机电工程学院 激光微纳加工研究中心 广州 510006;

  广东工业大学 实验教学部 广州 510006;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 光能加工设备及其加工;
• 关键词

  激光技术; 混合溶液; 激光诱导背向湿式刻蚀; 蓝宝石; 成形切割;