蓝宝石飞秒激光直冲孔加工研究

沈小伟; 赵万芹; 刘昊栋

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蓝宝石飞秒激光直冲孔加工研究

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为了在电子衬底蓝宝石表面加工多种尺寸的微孔结构,课题组采用飞秒激光直冲方式进行蓝宝石表面微孔加工,通过实验探索了激光脉冲数、单脉冲能量和重复频率对孔直径和孔表面形貌的影响规律。研究结果表明:在不同单脉冲能量下,孔径均在脉冲数为50 000左右达到饱和;孔径均随着单脉冲能量和重复频率的增加而增加;飞秒激光加工蓝宝石孔口周围均无喷溅物,主要的缺陷为孔口裂纹,且裂纹数量和尺寸普遍表现为随激光加工参数的增大而增大。

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来源
《轻工机械》 |2022年第3期|85-88|共5页
作者
沈小伟; 赵万芹; 刘昊栋;
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作者单位

上海工程技术大学材料工程学院;

西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类激光的应用;显微镜;
关键词
飞秒激光; 蓝宝石; 直冲加工; 单脉冲能量; 重复频率;

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