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金属有机化合物气相色谱分析研究:I—二乙基锌的气相色谱分析

         

摘要

报道了用于MOCVD工艺制备半导材料的前体化合物二乙基锌的直接气相色谱分析方法。研究了二乙基锌及其中的挥发性有机杂质色谱分离特性.同时指出在严格实验条件下,二乙基锌能和一般有机物一样,从色谱柱上很好流出,并保证不分解。

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