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一种钨制品的制备装置及方法

         

摘要

申请(专利)号:201710689624.2公开(公告)日:2017-12-08申请(专利权)人:北京理工大学中船重工(邯郸)派瑞特种气体有限公司摘要:本发明涉及一种钨制品的制备装置及方法,特别涉及超高纯度、超高致密度的高端钨制品工业化绿色制造装置及工艺,属于难熔金属特种加工技术领域。本发明的装置通过电解制气装置、氟化装置、化学气相沉积装置和尾气处理装置构成封闭循环.

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