无磨料化学机械抛光的研究进展

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• 来源
  《机械制造与自动化》 |2008年第6期|5-8|共4页
• 作者

  李军; 左敦稳; 朱永伟; 孙玉利; 王军;

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• 作者单位

  南京航空航天大学机电学院,江苏,南京,210016;

  南京航空航天大学机电学院,江苏,南京,210016;

  南京航空航天大学机电学院,江苏,南京,210016;

  南京航空航天大学机电学院,江苏,南京,210016;

  南京航空航天大学机电学院,江苏,南京,210016;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 抛光;
• 关键词

  无磨料化学机械抛光; 材料去除; 表面损伤;