基体偏压对Cr/DLC薄膜结构及力学性能的影响

贾昆鹏; 徐锋; 赵延超; 王俊峰; 左敦稳

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基体偏压对Cr/DLC薄膜结构及力学性能的影响

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采用高功率脉冲磁控溅射方法在不同基体偏压下的钢基体上沉积含Cr过渡层的DLC薄膜。利用原子力显微镜、场发射扫描电镜、Raman光谱、动态超显微硬度计和划痕仪对薄膜的表面形貌、截面形貌、结构成分、力学性能进行表征。结果表明:随着基体偏压的增大,薄膜表面更加平整,表面粗糙度减小;不同基体偏压下制备的DLC薄膜与基体结合良好,厚度均匀,结构致密;Raman结果显示,I_(D)/I_(G)值随基体偏压的增大不断下降,薄膜中sp^(3)含量逐渐增加;当基体偏压增大时,薄膜硬度和弹性模量均呈上升趋势,膜基结合强度增加。

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来源
《机械制造与自动化》 |2022年第1期|7-10|共4页
作者
贾昆鹏; 徐锋; 赵延超; 王俊峰; 左敦稳;
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作者单位

南京航空航天大学机电学院;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TH161.14;
关键词
DLC; 磁控溅射; 基体偏压; 表面粗糙度; 硬度; 结合力;

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