单晶硅表面微结构纳秒脉冲激光加工研究

储成龙; 汪奇文; 张振; 张全利

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单晶硅表面微结构纳秒脉冲激光加工研究

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以单晶硅为对象,使用波长355 nm、脉宽15 ns的纳秒激光对单晶硅进行烧蚀加工试验研究。基于单因素法设计并完成了单晶硅纳秒脉冲激光直线刻蚀试验,探究了激光输出功率、激光脉冲重复频率、激光扫描速度和扫描次数对纳秒脉冲激光加工单晶硅表面形貌的影响规律。基于优化的加工工艺参数,在单晶硅表面制备出方形阵列的微结构。

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来源
《机械制造与自动化》 |2022年第1期|23-26|共4页
作者
储成龙; 汪奇文; 张振; 张全利;
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作者单位

南京航空航天大学;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类激光切割及设备;
关键词
纳秒脉冲激光; 单晶硅; 微结构; 参数优选;

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