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超精密工件台多维激光测量系统研究

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摘要

在分析超精密工件台运动特点的基础上,提出了一种基于多轴双频激光干涉仪的激光测量系统,搭建测量系统平台并建立了测量模型;这种测量系统运用在纳米级定位系统中,可以实现高分辨率低误差的位置测量,为工件台多自由度、大行程、高速高精的纳米级运动控制提供了重要保障.

著录项

来源
《机床与液压》 |2006年第9期|69-71|共3页
作者
周云飞; 申喻; 于宝成;
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作者单位

华中科技大学机械学院国家数控工程中心,湖北武汉,430074;

华中科技大学机械学院国家数控工程中心,湖北武汉,430074;

华中科技大学机械学院国家数控工程中心,湖北武汉,430074;

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正文语种 chi
中图分类一般自动化系统;
关键词
超精密; 工件台; 激光干涉仪;

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