硅烷化单晶硅表面自组装ZrO2薄膜及其摩擦学性能研究

王金清; 刘晓红; 许世红; 杨生荣

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硅烷化单晶硅表面自组装ZrO2薄膜及其摩擦学性能研究

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利用自组装成膜技术在磺酸化的MPTS自组装单层薄膜表面制备了ZrO2薄膜,应用接触角测定仪、X射线光电子能谱仪(XPS)、原子力显微镜(AFM)分析了薄膜的组成和结构.结果表明:该ZrO2薄膜比较致密、无裂缝,呈"准二维"特征,且与基底的牢固性好.摩擦磨损试验表明:ZrO2薄膜经500℃烧结处理后适于在低负荷、低滑动速度下作为减摩、抗磨保护性涂层.

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来源
《机械工程材料》 |2004年第9期|41-44|共4页
作者
王金清; 刘晓红; 许世红; 杨生荣;
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作者单位

中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室,甘肃,兰州,730000;

中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室,甘肃,兰州,730000;

兰州高等师范专科学校化学系,甘肃,兰州,730070;

中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室,甘肃,兰州,730000;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类表面现象的物理化学;
关键词
自组装单层薄膜; 氧化锆薄膜; 摩擦学性能;

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