Ag纳米颗粒等离激元光散射增强对Si刻蚀形貌的影响机制

戴菡; 赵俊凤; 孙杰; 余鑫祥; 房洪杰; 纪仁龙; 祝贞凤; 吕正风

首页> 中文期刊> 《材料导报》 >Ag纳米颗粒等离激元光散射增强对Si刻蚀形貌的影响机制

Ag纳米颗粒等离激元光散射增强对Si刻蚀形貌的影响机制

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

通过实验与有限元(FDTD)模拟系统研究了不同粒径尺寸的Ag纳米颗粒在P(100)Si表面刻蚀过程中等离激元光散射增强对刻蚀孔形貌的影响。SEM结果表明,刻蚀孔由与粒径尺寸接近的垂直孔演化为一种上大下小的火炬状形貌特征孔,该孔的直径与纳米颗粒尺寸散射半径相仿。模拟不同粒径的Ag纳米颗粒进入刻蚀孔后的光散射特征,证实了Ag纳米颗粒等离激元散射对刻蚀孔初期形成的重要作用。分析表明,基于光照条件下电子-空穴的激发特征,刻蚀孔的形貌主要依赖Ag纳米颗粒等离激元散射的光增强,即通过改变入射光频率以及Ag纳米颗粒粒径可以有效地调控Si表面形貌特征。Ag纳米颗粒等离激元光散射增强技术在Si基太阳能电池、发光二极管(LED)器件等领域有潜在应用前景。

著录项

来源
《材料导报》 |2017年第a02期|479-483|共5页
作者
戴菡; 赵俊凤; 孙杰; 余鑫祥; 房洪杰; 纪仁龙; 祝贞凤; 吕正风;
展开▼
作者单位

烟台南山学院工学院;

山东南山铝业股份有限公司;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类化学动力学、催化作用;
关键词
Ag纳米颗粒; 等离激元; Si刻蚀; 刻蚀孔形貌; 光催化;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. Ag纳米颗粒等离激元光散射增强对Si刻蚀形貌的影响机制 [J] . 戴菡 ,赵俊凤 ,孙杰 . 材料导报：纳米与新材料专辑 . 2017,第002期
2. 金纳米颗粒等离激元对不同形貌氧化锌薄膜发光性能的调控 [J] . 张杨 ,李学红 ,彭成晓 . 发光学报 . 2012,第012期
3. 蜂窝状Ag纳米颗粒膜制备及应用于表面增强拉曼散射基底 [J] . 刘元君 ,叶芬 ,王威 . 无机化学学报 . 2019,第010期
4. Ag@SiO2-SiC复合纳米颗粒制备及其荧光增强现象研究 [J] . 刘晓萍 ,王丽娜 ,隋凝 . 青岛科技大学学报（自然科学版） . 2014,第006期
5. YAG激光参量对刻蚀微坑形貌的影响 [J] . 占剑 ,杨明江 . 激光技术 . 2011,第002期
6. 不同形貌的金纳米粒子的光散射和表面增强拉曼光谱 [C] . 焦玉芬 ,王晶 ,陈朗星 . 2008年全国化学及光谱分析学术会议 . 2008
7. 贵金属纳米颗粒的形貌控制合成、自组装与表面增强拉曼散射性质 [A] . 沈小双 . 2010

Ag纳米颗粒等离激元光散射增强对Si刻蚀形貌的影响机制

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅