MPCVD制备金刚石膜的形核与生长过程

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• 来源
  《材料导报》 |2016年第11期|83-88|共6页
• 作者

  江彩义; 高冀芸; 郭胜惠; 杨黎; 彭金辉; 张利波; 胡途; 王仕兴;

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• 作者单位

  昆明理工大学,超硬材料先进制备技术国际联合研究中心,昆明650093;

  昆明理工大学,非常规冶金教育部重点实验室,昆明650093;

  云南民族大学,民族地区矿产资源综合利用重点实验室,昆明650031;

  昆明理工大学,超硬材料先进制备技术国际联合研究中心,昆明650093;

  昆明理工大学,非常规冶金教育部重点实验室,昆明650093;

  昆明理工大学,微波能工程应用与装备技术国家地方联合工程实验室,昆明650093;

  昆明理工大学冶金与能源工程学院,昆明650093;

  昆明理工大学,超硬材料先进制备技术国际联合研究中心,昆明650093;

  昆明理工大学,非常规冶金教育部重点实验室,昆明650093;

  昆明理工大学,微波能工程应用与装备技术国家地方联合工程实验室,昆明650093;

  昆明理工大学冶金与能源工程学院,昆明650093;

  昆明理工大学,超硬材料先进制备技术国际联合研究中心,昆明650093;

  昆明理工大学,非常规冶金教育部重点实验室,昆明650093;

  昆明理工大学,微波能工程应用与装备技术国家地方联合工程实验室,昆明650093;

  云南民族大学,民族地区矿产资源综合利用重点实验室,昆明650031;

  昆明理工大学冶金与能源工程学院,昆明650093;

  昆明理工大学,超硬材料先进制备技术国际联合研究中心,昆明650093;

  昆明理工大学,非常规冶金教育部重点实验室,昆明650093;

  昆明理工大学,微波能工程应用与装备技术国家地方联合工程实验室,昆明650093;

  昆明理工大学冶金与能源工程学院,昆明650093;

  昆明理工大学,非常规冶金教育部重点实验室,昆明650093;

  昆明理工大学,微波能工程应用与装备技术国家地方联合工程实验室,昆明650093;

  昆明理工大学冶金与能源工程学院,昆明650093;

  昆明理工大学,非常规冶金教育部重点实验室,昆明650093;

  昆明理工大学,微波能工程应用与装备技术国家地方联合工程实验室,昆明650093;

  昆明理工大学冶金与能源工程学院,昆明650093;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 人造超硬度材料的生产;
• 关键词

  金刚石膜; 微波等离子体; 化学气相沉积; 形核; 生长;