多孔硅在传感器中的应用研究进展∗

孙兰兰; 肖巍; 刘煌; 张艳华; 涂铭旌

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多孔硅在传感器中的应用研究进展∗

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The motivation of using porous silicon (PS)as a sensing material relates to ease of fabrication,large internal surface,wide range of accessible and adjustable pore size,controllable surface modification and compatibility with current silicon-based technologies.Based on PS materials,the research progress of PS electrochemical sensors and optical sensors are introduced,including PS humidity sensors,PS gas sensors,PS organic vapor sensors,PS bio-logical sensors.Lastly,concluding remarks about existing challenges that hinder the commercial use of the material are highlighted,and pospective development directions of PS sensors are suggested.%多孔硅由于其制备方法简单、拥有极大的内表面积、广泛的孔径尺寸、可控的表面改性以及与传统硅集成技术兼容等特点，成为传感器件中理想的敏感材料。简述了多孔硅电化学传感器和光学传感器的研究进展，包括多孔硅湿度传感器、多孔硅气敏传感器、多孔硅有机蒸气传感器、多孔硅生物传感器。最后指出了阻碍多孔硅基传感器商业化的影响因素，并展望了多孔硅传感器的发展方向。

著录项

来源
《材料导报》 |2015年第13期|62-66,71|共6页
作者
孙兰兰; 肖巍; 刘煌; 张艳华; 涂铭旌;
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作者单位

重庆理工大学材料科学与工程学院;

重庆 401320;

重庆文理学院重庆市高校微纳米材料工程与技术重点实验室;

重庆 402160;

重庆文理学院重庆市高校微纳米材料工程与技术重点实验室;

重庆 402160;

重庆理工大学材料科学与工程学院;

重庆 401320;

重庆文理学院重庆市高校微纳米材料工程与技术重点实验室;

重庆 402160;

重庆文理学院重庆市高校微纳米材料工程与技术重点实验室;

重庆 402160;

重庆理工大学材料科学与工程学院;

重庆 401320;

重庆文理学院重庆市高校微纳米材料工程与技术重点实验室;

重庆 402160;

四川大学材料科学与工程学院;

成都 610065;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类特种结构材料;
关键词
多孔硅; 传感器; 内表面积;

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