扫描近场光学显微技术在半导体材料表征领域应用的研究进展

著录项

• 来源
  《材料导报》 |2014年第23期|28-33|共6页
• 作者

  陈芳; 魏志鹏; 刘国军; 唐吉龙; 房丹; 方铉; 高娴; 赵海峰; 王双鹏;

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• 作者单位

  长春理工大学光电工程学院,高功率半导体激光国家重点实验室,长春130022;

  长春理工大学光电工程学院,高功率半导体激光国家重点实验室,长春130022;

  长春理工大学光电工程学院,高功率半导体激光国家重点实验室,长春130022;

  长春理工大学光电工程学院,高功率半导体激光国家重点实验室,长春130022;

  长春理工大学光电工程学院,高功率半导体激光国家重点实验室,长春130022;

  长春理工大学光电工程学院,高功率半导体激光国家重点实验室,长春130022;

  长春理工大学光电工程学院,高功率半导体激光国家重点实验室,长春130022;

  中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,发光学及应用国家重点实验室,长春130022;

  中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,发光学及应用国家重点实验室,长春130022;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 功能材料;表面性质;光学性质;杂质和缺陷;
• 关键词

  扫描近场光学显微技术; 半导体材料; 超高空间高分辨率;