超低压ITO基壳聚糖电解质纸张薄膜晶体管的制备

刘欣; 赵娟; 赵孔胜; 刘全慧

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超低压ITO基壳聚糖电解质纸张薄膜晶体管的制备

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采用一步掩膜法通过射频磁控溅射设备同时制备源极、漏极以及沟道层,采用具有双电荷层效应的壳聚糖薄膜为栅介质,成功制备出以纸张为衬底的超低压薄膜晶体管.这种柔性衬底薄膜晶体管具有良好的电学性能:超低的工作电压(仅为0.8V),场效应迁移率达到8.1 cm2/(V·s),亚阈值斜率为80mV/decade,开关电流比高达1.2×107.

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来源
《材料导报》 |2013年第18期|9-11,27|共4页
作者
刘欣; 赵娟; 赵孔胜; 刘全慧;
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作者单位

湖南大学物理与微电子科学学院,长沙410082;

湖南大学物理与微电子科学学院,长沙410082;

湖南大学物理与微电子科学学院,长沙410082;

湖南大学物理与微电子科学学院,长沙410082;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类凝聚态物理学;
关键词
纸张薄膜晶体管; 超低压; ITO; 壳聚糖; 双电层效应;

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