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金刚石薄膜热导率的研究现状

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摘要

分析了金刚石薄膜热导率的声子导热机理,从金刚石薄膜晶体结构的角度总结了影响热导率的因素,例如晶界、晶内杂质、缺陷、晶粒尺寸、晶粒取向、同位素;从金刚石薄膜合成工艺角度探讨了影响金刚石薄膜热导率的因素,例如基底材料及预处理、合成温度、气源及添加气体(氧气、氮气)、工作压强、功率等.

著录项

来源
《材料导报》 |2013年第z1期|201-206|共6页
作者
赵齐; 代明江; 韦春贝; 邱万奇; 侯惠君;
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作者单位

广东省工业技术研究院;

广东省工业技术研究院;

华南理工大学;

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正文语种 chi
中图分类 TB31;
关键词
金刚石薄膜; 热导率; 晶粒尺寸; 反应温度;

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