可钢化TiO2-Si3N4-CrNx-Ag-NiCrOx-ZnO-Si3N4玻璃涂层的制备和性能表征

高春森; 邓跃全; 董发勤; 杨瑞; 解忠雷; 许春凤

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采用磁控溅射法制备了可钢化TiO2-Si3N4-CrNx-Ag-NiCrOx-ZnO-Si3N4复合玻璃涂层（TSCANZSLow-E玻璃）,并对其微观结构和物理性能进行了测试。AFM分析发现,薄膜表面光滑平整,粗糙度Ra为0.323nm;XPS探测到膜层表面存在TiO2和Si3N4;四探针面电阻测试仪测定薄膜方阻Rs为8.81Ω/□,比辐射率值为0.108;光学性能分析显示可见光透过率达81%,在2500nm处的中远红外区反射率达80%;剥落实验证明薄膜与玻璃基底之间具有良好的附着性;钢化测试结果符合国标要求。

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来源
《材料导报》 |2010年第s1期|476-479|共4页
作者
高春森; 邓跃全; 董发勤; 杨瑞; 解忠雷; 许春凤;
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作者单位

西南科技大学材料科学与工程学院;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类材料腐蚀与保护;
关键词
可钢化; TiO; 2; -Si; 3; N; 4; -CrN; x; -Ag-NiCrO; x; -ZnO-Si; 3; N; 4; 膜; 微观结构; 物理性能;

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