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GaN薄膜制备技术的研究进展

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摘要

综述了近年来国内外GaN薄膜制备技术的研究进展,并重点介绍了其发展历程、所使用的设备和技术、各自的优缺点及应用前景。通过比较这些技术的优缺点展望了制备GaN薄膜技术的发展前景。

著录项

来源
《材料导报》 |2010年第s1期|299-303|共5页
作者
赵丹; 梁建; 赵君芙; 马淑芳; 张华; 许并社;
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作者单位

1. 太原理工大学新材料界面科学与工程省部共建教育部重点实验室 2. 太原理工大学材料科学与工程学院;

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正文语种 chi
中图分类 TB383.2;
关键词
GaN薄膜; 制备技术; 研究进展;

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