铝离子掺杂氧化锌薄膜的溶胶-凝胶法制备及性能

贾波; 苏革; 刘天中; 曹立新; 柳伟; 孙武珠; 董征; 王景

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铝离子掺杂氧化锌薄膜的溶胶-凝胶法制备及性能

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运用室温溶胶-凝胶技术和热处理工艺,在载玻片上制备了铝离子掺杂的ZnO薄膜。采用X射线衍射（XRD）和扫描电子显微镜（SEM）对薄膜的成分、结构和形貌进行了表征;采用紫外-可见光分光光度计对薄膜的透光性能进行了研究。结果表明,所制备的氧化锌薄膜为六方纤锌矿结构,沿c轴方向择优生长;铝离子的掺杂没有改变氧化锌的基本结构,所掺杂的铝离子为取代锌离子的替位掺杂;热处理后,氧化锌颗粒为六角形针（柱）状形貌;随着热处理温度的升高,薄膜的透光率增大;经600℃热处理后随着铝离子掺杂浓度的增加,薄膜的透光率先增大后减小,当铝离子掺杂浓度为2%时透光率最大;当铝离子掺杂浓度较大时,晶格畸变的影响使薄膜的透光率减小。当溶胶浓度为0.6mol/L、铝离子掺杂浓度为2%和热处理温度为600℃时,所制备薄膜的质量和性能最好。

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来源
《材料导报》 |2010年第s1期|340-342+351|共3页
作者
贾波; 苏革; 刘天中; 曹立新; 柳伟; 孙武珠; 董征; 王景;
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作者单位

1. 中国海洋大学材料科学与工程研究院 2. 中国科学院青岛生物能源与过程研究所 3. 中国科学院金属研究所;

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正文语种 chi
中图分类 TB383.2;
关键词
溶胶-凝胶法; 铝离子掺杂氧化锌; 透光率;

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