掺硼金刚石薄膜二次电子发射特性的研究

著录项

• 来源
  《材料导报》 |2009年第3期|82-85|共4页
• 作者

  王玉乾; 王兵; 甘孔银; 李凯; 潘清; 黎明; 王延平;

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• 作者单位

  西南科技大学材料学院,绵阳,621010;

  西南科技大学材料学院,绵阳,621010;

  中物院应用电子学研究所,绵阳,621900;

  中物院应用电子学研究所,绵阳,621900;

  中物院应用电子学研究所,绵阳,621900;

  中物院应用电子学研究所,绵阳,621900;

  西南科技大学材料学院,绵阳,621010;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 薄膜物理学;
• 关键词

  掺硼金刚石薄膜; 二次电子发射; 化学气相沉积;