提高CVD金刚石薄膜附着力的方法及其研究进展

著录项

• 来源
  《材料导报》 |2008年第3期|85-89|共5页
• 作者

  周秋霞; 史新伟; 靳慧智; 姚宁; 王新昌;

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• 作者单位

  郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室,郑州,450052;

  郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室,郑州,450052;

  郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室,郑州,450052;

  郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室,郑州,450052;

  郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室,郑州,450052;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 工程材料学;
• 关键词

  金刚石薄膜; 附着力; 预处理; 过渡层; 沉积条件;