离子注入法制备N掺杂p型ZnO薄膜

著录项

• 来源
  《材料导报》 |2008年第6期|143-145|共3页
• 作者

  朱仁江; 孔春阳; 秦国平; 王楠; 戴特力; 方亮;

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• 作者单位

  重庆师范大学光学工程实验室,重庆,400047;

  重庆师范大学光学工程实验室,重庆,400047;

  重庆师范大学光学工程实验室,重庆,400047;

  重庆师范大学光学工程实验室,重庆,400047;

  重庆师范大学光学工程实验室,重庆,400047;

  重庆大学数理学院,重庆,400030;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 化合物半导体;
• 关键词

  氧化锌薄膜; p型; 离子注入; 制备;