双辉渗金属放电效应及电极结构设计原理

高原; 徐晋勇

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介绍了双层辉光离子渗金属技术的基本原理和技术特点,源极、阴极及辅助阴极设计的基本原则,离子渗金属的两种放电模式及其产生的效应,总结了渗金属电极几何结构设计原理。双层辉光离子渗金属技术主要有3个技术特点:固体材料的阴极溅射、形成有利溅射和扩散的高温条件和增加等离子放电的空心阴极效应。其放电模式为:独立放电模式和空心阴极放电模式。源极和阴极设计原则依据双层辉光离子渗金属的特点和放电模式,为"仿形"原则。

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来源
《材料导报》 |2008年第s1期|307-309+313|共3页
作者
高原; 徐晋勇;
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作者单位

桂林电子科技大学信息材料科学与工程系;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类金属物理学;
关键词
离子渗金属; 源极; 辉光放电; 电极结构;

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