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Si基太阳电池用SiNx∶H薄膜的研究进展

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SiNx:H薄膜因为具有良好的减反射性质和钝化作用,在晶体硅太阳电池（单晶硅、多晶硅）的研究和生产中得到越来越广泛的应用。介绍了SiNx:H薄膜在硅基太阳电池中的减反射和钝化作用,主要制备方法等研究现状,以及面临的问题和今后的研究趋势。

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来源
《材料导报》 |2008年第s1期|247-250|共4页
作者
唐煜; 周春兰; 贾晓昀; 王文静;
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作者单位

1. 中国科学院电工研究所 2. 北京交通大学光电子技术研究所;

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正文语种 chi
中图分类太阳能电池;
关键词
太阳电池; SiN; x; :H; 钝化; 减反射;

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