Al掺杂量对ZnO∶Al薄膜微观结构和光电性能的影响

徐迪; 段学臣; 朱协彬; 傅欣

首页> 中文期刊> 《材料导报》 >Al掺杂量对ZnO∶Al薄膜微观结构和光电性能的影响

Al掺杂量对ZnO∶Al薄膜微观结构和光电性能的影响

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

采用溶胶-凝胶法在玻璃基片上制备出不同Al掺杂量的ZnO:Al（ZAO）薄膜。系统研究了Al掺杂量对薄膜微结构和光电性能的影响。结果表明:溶胶-凝胶法制备的薄膜具有完好C轴择优取向,在可见光区的透射率均大于85%;随着Al掺杂量的增加,薄膜的平均颗粒尺寸减小,表面电阻率先降低后升高,薄膜的光学带隙宽变宽。在5%H2+95%N2气氛退火可显著降低薄膜电阻率,掺Al量为2%的薄膜具有最低电阻率5.5×10-3Ω·cm。

著录项

来源
《材料导报》 |2008年第s1期|63-65|共3页
作者
徐迪; 段学臣; 朱协彬; 傅欣;
展开▼
作者单位

中南大学材料科学与工程学院;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类薄膜的性质;
关键词
溶胶凝胶; Al掺杂; ZnO:Al; 电阻率; 带隙;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. Al掺杂量对ZnO：Al薄膜微观结构和光电性能的影响 [J] . 徐迪 ,段学臣 ,朱协彬 . 材料导报：纳米与新材料专辑 . 2008,第001期
2. Al掺杂量对ZnO薄膜微观结构及光学性能的影响 [J] . 娄有信 ,闫明姝 ,周海峰 . 山东轻工业学院学报（自然科学版） . 2016,第006期
3. Al掺杂量对ZnO薄膜微观结构及光学性能的影响 [J] . 娄有信12 ,闫明姝1 ,周海峰1 . 齐鲁工业大学学报：自然科学版 . 2016,第006期
4. 溅射气压对Al掺杂ZnO薄膜光电性能的影响 [J] . 高松华 ,高立华 ,肖荣辉 . 洛阳师范学院学报 . 2017,第002期
5. 衬底温度对Al掺杂ZnO薄膜结构及其光电性能的影响 [J] . 吴克跃 ,吴兴举 ,常磊 . 人工晶体学报 . 2013,第10期
6. Al掺杂ZnO薄膜的射频磁控溅射工艺与光电性能研究 [C] . 刘心宇 ,江民红 ,周秀娟 . 第七届中国国际纳米科技（武汉）研讨会 . 2008
7. Al掺杂与Al-Sc共掺杂ZnO薄膜的制备、微观组织及光电性能 [A] . 陈建林 . 2009

Al掺杂量对ZnO∶Al薄膜微观结构和光电性能的影响

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅