氮气流量对UBMS制备TiN薄膜结构和力学性能的影响

王庆喜; 弥谦; 惠迎雪

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氮气流量对UBMS制备TiN薄膜结构和力学性能的影响

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利用非平衡磁控溅射离子镀技术研究了不同氮气流量对TiN薄膜结构、摩擦性能、附着力及显微硬度的影响。研究结果表明:N2流量对TiN薄膜的择优取向有很大影响,N2流量较小时,TiN薄膜显示出{111}择优取向生长趋势,在N2流量为15sccm条件下沉积的TiN薄膜的（111）衍射峰强度最强,与之对应的薄膜硬度和膜基结合强度最高,耐磨性能也最好;N2流量的大小对TiN薄膜的沉积速率和摩擦系数影响显著,并随N2流量增加都有较明显的下降趋势。

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来源
《材料导报》 |2008年第s1期|66-68+71|共3页
作者
王庆喜; 弥谦; 惠迎雪;
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作者单位

西安工业大学光电工程学院;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类薄膜的性质;
关键词
非平衡磁控溅射; 氮化钛薄膜; 氮气流量;

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