首页> 中文期刊> 《材料导报》 >自支撑薄膜制备的研究进展

自支撑薄膜制备的研究进展

         

摘要

能否成功制备自支撑薄膜不仅制约着激光和核物理研究的发展,而且限制了原子核化学试验的开展.自支撑薄膜的制备方法与普通薄膜的制备方法有很大的区别,经过近50年的发展,已经形成了一系列独特的制备方案.在成膜方面,其研究热点集中在如何降低薄膜内应力和提高材料的利用率上;同时各种可溶性衬底和脱膜剂对自支撑膜的质量有很大的影响,需要根据膜材料进行选择.总结了常见的衬底和脱膜剂及其特点,并介绍了常用的脱膜方法--漂浮法.指出自支撑薄膜制备所面临的问题主要是进一步降低膜的粗糙度,制备低应力的自支撑多层膜.

著录项

  • 来源
    《材料导报》 |2007年第6期|1-3,8|共4页
  • 作者

    高凤菊; 郑瑞廷; 程国安;

  • 作者单位

    北京师范大学射线束技术与材料改性教育部重点实验室,材料科学与工程系/低能核物理研究所,北京市辐射中心,北京,100875;

    北京师范大学射线束技术与材料改性教育部重点实验室,材料科学与工程系/低能核物理研究所,北京市辐射中心,北京,100875;

    北京师范大学射线束技术与材料改性教育部重点实验室,材料科学与工程系/低能核物理研究所,北京市辐射中心,北京,100875;

  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 chi
  • 中图分类 薄膜的生长、结构和外延;
  • 关键词

    薄膜; 自支撑; 脱膜剂;

相似文献

  • 中文文献
  • 外文文献
  • 专利
获取原文

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号