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唐重林; 柴常春; 娄利飞; 楼晓强;
西安电子科技大学微电子学院,宽禁带半导体材料与器件教育部重点实验室,西安,710071;
铁电材料; 核辐射; 位移效应; 电离效应;
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机译:功能器件的生产过程,铁电材料层的生产过程,场效应晶体管,薄膜晶体管,场效应晶体管和压电喷墨头的生产过程
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