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超细晶/纳米晶铝膜的研究现状

         

摘要

综述了超细晶/纳米晶铝膜的制备技术和制备工艺参数如衬底类型、氩气分压和靶功率等对铝膜结构性能的影响;介绍了目前超细晶/纳米晶铝膜的显微组织、铝薄膜及超薄铝薄膜的研究和其机械性能等研究方面的现状和进展,并展望了超细晶/纳米晶铝膜研究的发展前景.

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