前驱体浓度对超声雾化热解法制备ZnO薄膜性能的影响

周佳; 韩高荣; 李敏睿

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前驱体浓度对超声雾化热解法制备ZnO薄膜性能的影响

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采用超声雾化技术,以醋酸锌水溶液为前驱体溶液,在加热的玻璃衬底上制备得到ZnO薄膜.研究了不同前驱体溶液浓度和不同加热温度条件下制得的ZnO薄膜的微观结构和光学性能.测试结果表明,ZnO薄膜为六角纤锌矿结构,在合适的条件下可以制备出沿(002)晶面取向生长的样品,具有优良的均匀性和致密性.同时在可见光区也表现出80%以上的高透过率.

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来源
《材料导报》 |2006年第1期|120-122|共3页
作者
周佳; 韩高荣; 李敏睿;
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作者单位

浙江大学材化学院材料系硅材料国家重点实验室,杭州,310027;

浙江大学材化学院材料系硅材料国家重点实验室,杭州,310027;

浙江大学材化学院材料系硅材料国家重点实验室,杭州,310027;

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正文语种 chi
中图分类化合物半导体;薄膜的生长、结构和外延;
关键词
ZnO; 超声雾化热解法; 取向生长;

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